eng
Просмотры: 1660
05.06.2015
Холдинг «Швабе» получил российский патент на изобретение «Способ химико-механического полирования пластин арсенида галлия».
«Швабе» запатентовал способ химико-механической обработки материалов
«Недостатками существующих альтернативных способов обработки материалов являются двухстадийность процессов полировки и использование абразивных материалов. Это приводит к большим временным затратам, усложнению технологии обработки, созданию дефектов на поверхности изделий. Наше изобретение устраняет процедуру обработки в два этапа за счет полирующей композиции, не содержащей абразив, и существенно уменьшает вероятность повреждения поверхности обрабатываемого материала», – пояснил заместитель генерального директора АО «Швабе» по НИОКР и инновационному развитию Николай Ракович.
Проведенные испытания показали, что все пластины арсенида галлия после полирования инновационным способом «Швабе» имели зеркальную поверхность 14 класса чистоты по ГОСТ 11141-84, без рисок и окисной пленки. Рентгеновские исследования подтвердили отсутствие нарушенного слоя после проведения обработки.
Новый способ химико-механического полирования пластин арсенида галлия может быть использован в технологии изготовления полупроводниковых приборов, в том числе матричных фотоприемников большого размера, которые применяются в различных тепловизионных изделиях. В настоящее время запатентованное изобретение применяется в АО «НПО «Орион».
Источник: пресс - релиз "Швабе"
Комментарии читателей
