eng
Просмотры: 27
09.09.2026
Автор: Н.А. Шелепин
ISBN: 978-5-94836-751-4
ТЕХНОСФЕРА, 2026. — 160 с.
ISBN: 978-5-94836-751-4
ТЕХНОСФЕРА, 2026. — 160 с.
В книге описаны технологические маршруты, то есть последовательность технологических операций, которые применялись и применяются в процессе обработки кремниевых пластин при производстве КМОП ИС от периода становления технологии до реализации глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов. Особое внимание уделено развитию конструктивно-технологических методов формирования транзисторных структур, которые разрабатывались в процессе масштабирования технологии и обеспечили её развитие до нанометровых размеров элементов.
В связи с этим книга также может представлять интерес как справочник, в котором можно оперативно найти информацию, связанную с особенностями технологий изготовления КМОП СБИС различных технологических уровней.
Заказать книгу в издательстве
Комментарии читателей
