eng
Просмотры: 19
24.08.2026
Проект призван стать системным навигатором по современным технологиям интегральных схем и полупроводниковых приборов – от основ технологических процессов и работы высокоточного оборудования до проектирования и изготовления фотошаблонов.
Авторами серии выступят ведущие специалисты российской микроэлектроники. В рамках проекта будет раскрыта эволюция технологий ИС от микро- к наноэлектронике с самыми современными проектными нормами, рассмотрены ключевые этапы производства СБИС, включая литографию, методы моделирования технологических процессов и проектирования с использованием САПР.
Первой книгой серии станет труд д.т.н., профессора Н.А. Шелепина «Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов». В издании описаны технологические маршруты производства КМОП ИС – от периода становления до глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов, с акцентом на конструктивно-технологические методы, обеспечившие масштабирование элементов.
Серия адресована студентам старших курсов, магистрантам, аспирантам, а также инженерам, научным сотрудникам и руководителям технологических фабрик и дизайн-центров. Она будет полезна как тем, кто делает первые шаги в микроэлектронике, так и действующим специалистам, стремящимся систематизировать знания и найти темы для новых исследований.
Возглавил редакционный совет серии «МИР микроэлектроники» президент РАН, председатель программного комитета Российского форума «Микроэлектроника» академик Геннадий Яковлевич Красников.
Комментарии читателей
