Терминологический словарь содержит следующие разделы: основные понятия, основные физические, химические и биологические явления и понятия в нано - технологиях, объекты нано - технологий, основные процессы и методы в нано технологиях, методы и средства исследования нано объектов, метрология, стандратизация и сертификация, информатика, электроника, квантовые компьютеры.
Имеются указатели терминов на русском и английском языках, приведен список международных, региональных и зарубежных национальных организации в области стандартизации и сертификации, список распространенных англоязычных сокращений.
Словарь предназначен для научных работников, инженеров, аспирантов, студентов, специализирующихся в различных областях нано технологий, их метрологического обеспечения и стандартизации.