Первоначальное по замыслу авторов назначение этой книги – ознакомить разработчиков бортовой радиоэлектронной аппаратуры космических аппаратов (КА) и
систем двойного и специального назначения с современными подходами к проектированию и
применению микроэлектронной элементной базы этой аппаратуры.
Однако в процессе написания книги, сбора и обработки имеющейся обширной
информации, бесед с чиновниками и специалистами отечественной и зарубежной
космической и микроэлектронной отраслей промышленности первоначальный замысел авторов был существенно изменен. Полученные в результате анализа обширные дополнительные материалы заставили отказаться от исходного формата
книги, и кроме изложения собственно особенностей и проблем проектирования
современных микроэлектронных устройств для приборов космического и специального назначения здесь представлен значительно более расширенный материал.
Весь этот материал автором пришлось оформить в виде «двухтомника», где
кроме глав, посвященных непосредственно проблемам проектирования современных микроэлектронных устройств космического и специального (военного) назначения, появились
главы, посвященные другим «космическим» проблемам –
как устроены современные космические аппараты (КА), какова роль радиоэлектронного бортового оборудования в достижении цели проекта, для которого разрабатывался этот КА, какова статистика аварий и отказов этих аппаратов, почему
эти аварии и отказы в значительной степени связаны с качеством и функциональными
возможностями используемых в их бортовых РЭА микросхем, почему в РФ
активно применяются контрафактные микросхемы и как с ними бороться, како-
вы физические механизмы воздействия на РЭА КН ионизирующих излучений
космического пространства и потоков сверхскоростных высокоэнергетических
микрочастиц (космическая пыль) и какими методами и технологическими реше-
ниями можно если не исключить, то хотя бы уменьшить их влияние на надеж-
ность функционирования РЭА космического и специального назначения – и
многое другое.
Необходимость такого существенного увеличения объема книги было во мно-
гом обусловлена информацией, почерпнутой авторами из фундаментального труда
Железнякова А.Б. «Тайны ракетных катастроф. Плата за прорыв в космос» / М.:
Эксмо: Яуза, 2011. – 544 с., где фактически в сжатом виде детально изложена вся
история как отечественной, так и мировой космонавтики.
Изложенные в этой работе факты, описания всех основных этапов грандиоз-
ной эпопеи выхода человечества за пределы нашей Земли, показали всю слож-
ность этой чрезвычайно важной для человечества задачи, а также «высветили»
роль так называемой ЭКБ – элементно-компонентной базы в процессе покоре-
ния космоса.
Конечно, автор этой работы (Железняков А.Б.) не предполагал, что всю массу
достоверно изложенных им триумфальных и трагических событий процесса ос-
воения космического пространства будут читать специалисты по электронике и
рассматривать события под своим углом зрения, с учетом своего опыта и знаний в
сфере микроэлектроники.
К сожалению, и в этом читатели сами могут легко убедиться, обратившись к
первоисточнику, более чем в трети случаев аварий и отказов КА одной из наибо-
лее вероятных причин этих событий является отказ этой самой ЭКБ.
Забегая вперед, одной из многих задач этой книги авторы считают и такую –
проектируя конкретную бортовую радиоэлектронную аппаратуру для КА и выбирая
для этого уже имеющуюся на рынке (или разрабатывая новую ЭКБ) разработчики
должны представлять себя на месте тех людей (космонавтов, сотрудников назем-
ных служб обеспечения КА, военных), жизни которых самым непосредственным
способом будут зависеть от надежности этой самой РЭА. Так в оглавлении книги
появились непредусмотренные ранее главы о структуре и составе бортовой аппара-
туры КА, о детальном сравнительном анализе статистики и причинах аварий и от-
казов ракетоносителей и КА, о контрафактной ЭКБ и способах борьбы с ней.
В ходе изучения этого дополнительного и непосредственно никак не связан-
ного с профессиональной деятельностью авторов (микроэлектроника и ее при-
ложения) материала возникла объективная необходимость сравнить подходы раз-
работчиков КА разных стран (США, СССР/РФ, Китая, стран Евросоюза и др.) к
развитию соответствующей инфраструктуры и принципов использования ЭКБ в
КА и военной технике.
К удивлению авторов – дилетантов оказалось (и это отражено в материалах
книги), что, например, в Китае, намного позже включившемся в «космическую
гонку», в последние годы соотношение числа удачных к неудачным пускам КА
значительно лучше, чем в США и РФ, что у них на момент написания этой книги
в КА используется не менее 98% собственной ЭКБ (для РФ этот показатель – в
зависимости от источника информации – лежит в диапазоне только от 20 до 30% –
все остальное – это иностранная ЭКБ), а их КА уже далеко не повторяют амери-
канские и российские технические решения, а во многом их опережают, а, на-
пример, в области разработки «противоспутникового» оружия они продвинулись
весьма существенно вперед, продемонстрировав наблюдающим за ними конку-
рентам (США и РФ) активно маневрирующие на орбите и выполняющие различ-
ные манипуляции роботы-спутники («убийцы» спутников), а их «нефритовый
заяц» достаточно комфортно чувствует себя на Луне.
В итоге вместо задуманного авторами скромного однотомного руководства
по проектированию современных высоконадежных ИМС и ПП для космической
и военной техники, читателю предлагается своего рода энциклопедия космичес-
кой электроники, обобщающая в объеме двухтомника основную имеющуюся в
открытой печати информацию как о причинах основных аварий и отказов кос-
мической техники за весь период ее развития, так и практические рекомендации
по проектированию надежной элементной базы для бортовой РЭА.
Авторы выражают благодарность коллегам, активно участвовавшим в подго-
товке и обсуждении материалов книги, критические замечания и дополнения ко-
торых способствовали улучшению как структуры книги, так и излагаемого в ней
материала – Бибило П.Н., Богатырев Ю.В., Борисенко В.Е., Бондаренко В.П., Дол-
гий Л.Н., Овчинников В.И., Стемпицкий В.Р., Ушеренко С.М., Коршунов В.П.,
Критенко М.И., Стешенко В.Б., Турцевич А.С., Телец В.А., Мерданов М.К., Мака-
ров Ю.Н., Никифоров А.Ю., Черемисинова Л.Д., Шиллер В.А. и др.
Следует отметить, что многие из этих коллег предоставили авторам ориги-
нальные материалы собственных исследований по тематике этой книги – их вклю-
чение в состав книги в значительной степени усилило практическую направлен-
ность работы.
Авторы также выражают благодарность рецензентам – академику Витязю П.А.
и академику Лабунову В.А., конкретные замечания и предложения которых в зна-
чительной степени способствовали формированию окончательного варианта пред-
лагаемой читателю книги.
Огромный объем работ по техническому оформлению рукописи был выпол-
нен Гордиенко С.В. и Горовой Е.В.
При написании книги авторы использовали многочисленные открытые зару-
бежные и отечественные источники, результаты собственных научных исследо-
ваний и практические результаты, полученные ими в области проектирования
современных микроэлектронных изделий, учитывая специфику исследуемых про-
блем – достоверная информация о результатах анализа причин катастроф и ава-
рий как в СССР/РФ, США, так и в Китае редко появляется в открытой печати.
Поэтому здесь авторы использовали также информацию, полученную во время
личных встреч и переговоров с сотрудниками китайской и индийской космичес-
кой промышленности, в том числе – неоднократных встреч и дискуссий с Абдул
Каламом (его называют «индийский Королев») – до того периода времени, когда
он был избран Президентом Индии – и другими авторитетными специалистами.
Введение
Уникальность предмета исследований книги – космическая и специальная (эк-
стремальная) микроэлектроника – элементная база современной ракетно-кос-
мической техники (РКТ), а также систем вооружений и военной техники.
Впервые в отечественной научно-технической литературе сделана попытка
рассмотреть в рамках одной книги всю сложную цепь взаимосвязанных этапов
создания электронных блоков РКТ – от разработки требований к этим блокам и
их элементно-компонентной базе (ЭКБ) до выбора технологического базиса ее
реализации, методов проектирования микросхем и на их основе бортовых систем
управления аппаратурой космического и специального назначения.
Структура и последовательность изложения материала здесь направлена на из-
ложение достаточно сложного материала в максимально упрощенном (но не в ущерб
качеству) виде. Читателю последовательно излагается достаточный для понимания
проблемы, но минимальный объем информации – от устройства и классификации
космических аппаратов и их бортовых систем, результатов статистического анали-
за причин их аварий и отказов до особенностей выбора и применения ЭКБ иност-
ранного производства. Основной объем представленного материала касается про-
блем проектирования микросхем космического назначения – от выбора техноло-
гии изготовления до методов их проектирования с учетом особенностей глубокого
субмикрона.
Для достижения этой цели материал книги представлен в виде 20-ти глав.
В первой главе в сжатом виде представлены основные направления и тенден-
ции развития космической техники и технологии, приводится классификация кос-
мических аппаратов, дается краткое описание их устройства, принципов органи-
зации и функционирования основных электронных бортовых систем управления,
ибо именно исходя из требований к функциональным возможностям и техничес-
ким характеристикам этих систем формулируются требования к их ЭКБ. Более
подробно рассмотрены космические аппараты дистанционного зондирования
Земли, поскольку в одной из последующих глав рассмотрены практические при-
меры проектирования для них специализированных ПЗС – микросборок.
Здесь же кратко рассмотрены основные механизмы воздействия на КА фак-
торов космического пространства (радиации, микрометеоритов и др.).
В последнем параграфе главы рассмотрены основные направления развития
новых направлений в космическом приборостроении – применение МЭМС-тех-
нологий для создания миниатюрных (размерами со спичечный коробок) реак-
тивных двигателей космического назначения.
Вторая глава посвящена общим проблемам обеспечения безопасности ракет-
но-космической техники, систематизации и анализу основных причин катаст-
роф, аварий, отказов ракетоносителей и КЛА. Приводятся обобщенные по от-
крытым источникам информации статистические данные по изменению харак-
тера и причин отказов на основных этапах развития космической техники, пока-
зана роль надежности используемой ЭКБ в решении задачи снижения рисков
отказов, формулируются основные требования к количественным показателям
надежности и долговечности ЭКБ КН.
Отдельно здесь рассмотрены специальные методы обеспечения надежности
бортовой аппаратуры КА длительного функционирования.
Третья глава посвящена общим вопросам выбора микроэлектронной ЭКБ для
устройств ракетно-космической техники. Рассмотрена типовая структура контрол-
лера бортовой электронной системы управления КА, даны конкретные примеры
использования процессоров и микроконтроллеров в электронных системах уп-
равления иностранными КА,
Детально рассмотрены основные технические характеристики и функциональ-
ные особенности почти всех известных отечественных микроконтроллеров двой-
ного и специального назначения, а также важные для практического применения
особенности проектирования и организации производства микросхем для кос-
мических применений.
При рассмотрении последнего вопроса большое внимание уделено особеннос-
тям использования фаблес – модели, когда оригинальная микросхема проектиру-
ется отечественным дизайн-центром под требования конкретного заказчика – раз-
работчика РЭА космического или специального применения, а затем изготавлива-
ется на одной из зарубежных микроэлектронных фабрик, отдельный параграф гла-
вы посвящен важным для инженера-дизайнера особенностям выбора конкретного
конструктивно-технологического базиса (типа технологии, минимальных проект-
ных норм уровня глубокого субмикрона) для проектирования микросхем косми-
ческого назначения.
Система электроэнергообеспечения современных космических аппаратов во
многом определяет их конечные тактико-технические характеристики, поэтому
здесь детально рассмотрены состав и технические характеристики соответствую-
щей отечественной ЭКБ для систем электрообеспечения.
Для стремительно развивающегося в РФ космического направления – спут-
ников и специальной аппаратуры дистанционного зондирования Земли – пред-
ставлено описание соответствующей ЭКБ, рассмотрены функциональные возмож-
ности, технические характеристики и особенности применения.
Поскольку воздействие ионизирующих излучений космического пространства
является одним из главных факторов, ограничивающих сроки активного суще-
ствования КА и приводящих к отказам и сбоям в работе бортовой РЭА (примерно
в 30% случаев отказов функционирования их причиной является воздействие ра-
диации), отдельный параграф целиком посвящен общим вопросам обеспечения
стойкости бортовой РЭА к ионизирующим излучениям.
В частности, рассмотрены вопросы формирования соответствующих требо-
ваний и определения локальных радиационных условий на борту КА, особеннос-
ти методик оценки радиационной стойкости бортовой РЭА, а также рекоменда-
ции по повышению эффективности использования элементов радиационной за-
щиты от воздействия тяжелых заряженных частиц, основные нормативные мето-
дики оценки радиационной стойкости бортовой РЭА.
Поскольку, кроме микросхем, при построении РЭА КН широко используют-
ся и дискретные полупроводниковые приборы, в конце главы рассмотрена но-
менклатура силовых полупроводниковых приборов КН (мощные полевые тран-
зисторы, диоды, IGBT-модули и др.).
Четвертая глава посвящена особенностям выбора и применения в составе
отечественных космических аппаратов ЭКБ иностранных производителей. Рас-
смотрены общие проблемы и подходы к выбору такой ЭКБ. Отдельно анализиру-
ются нормативные документы США и Евросоюза, ограничивающие экспорт в
Россию этих компонентов, рассмотрены пути и механизмы решения сопутствую-
щих проблем.
Поскольку приобретение иностранной ЭКБ категории Space обычно пред-
ставляет собой достаточно сложную задачу, на практике для проектирования РЭА
КН широко используют иностранную ЭКБ категории Industry (промышленного
назначения). Детально рассмотрены особенности применения этих изделий в ра-
кетно-космической технике, приводится перечень обязательных мероприятий,
которые должен выполнить разработчик РЭА перед тем, как поставить эти образ-
цы в электронные блоки проектируемой РЭА КН. Отдельный параграф посвя-
щен проблемным особенностям выбора иностранной ЭКБ для РЭА стратегичес-
ки значимых отечественных объектов.
Одной из важнейших проблем комплектации РЭА КН импортными микро-
электронными изделиями является проблема так называемого «контрафакта».
Причем эта проблема не только для российских разработчиков, она носит гло-
бальный характер – известно много случаев, когда даже в электронные системы
подводных лодок, боевых самолетов США и стран НАТО, космической аппарату-
ры НАСА и Европейского космического агентства попадали контрафактные (под-
дельные, клонированные) микросхемы низкого качества китайского производ-
ства (в Китае налажено массовое производство таких изделий).
В последние годы все больше контрафактных изделий выявляется и российс-
кими специалистами, а в ряде случаев однозначно установлена их ответственность
за отказы РКТ.
Дана следующая классификация контрафактных изделий: пиратская версия
(клон), компонент не соответствует стандартам изготовления оригинального изде-
лия; компонент не изготовлен сертифицированным на то производителем; компо-
нент является дефектным или ранее бывшим в употреблении, но поставленным
под видом новых компонентов; компонент имеет некорректную (или поддель-
ную) маркировку и сопроводительную документацию. В итоге контрафактную
продукцию можно отнести к следующим более частным категориям: повторно
используемые, перемаркированные, дефектные (бракованные), незаконно (на-
пример, сверх договорного объема) произведенные, клонированные, незаконно
измененные (восстановленные) изделия, а также компоненты с поддельной до-
кументацией.
Для каждой из этих категорий рассмотрены эффективные методы их выявле-
ния. Подробно описан один из таких эффективных методов – специальный ком-
плекс электрических и температурных испытаний с конкретными примерами из
практики анализа. Рассмотрены особенности выбора и применения в отечествен-
ных космических аппаратах иностранных процессоров и микроконтроллеров,
необходимых для построения высокопроизводительных и надежных бортовых
цифровых вычислительных комплексов (БЦВК) – как для систем полезной на-
грузки, так и для платформы космических аппаратов. Детально проанализирован
наиболее широко используемый с 2009 г. в космической отрасли США и стран ЕС
разработанный компанией Aeroflex процессорный комплект Leon 3FT (микро-
процессоры UT699 и GR712): варианты использования, квалификационные ха-
рактеристики, архитектурные и аппаратные особенности, особенности програм-
мирования и пр.
Отдельный параграф посвящен иностранным радиационно-стойким преоб-
разователям постоянного тока для космических и военных применений, объем
импорта которых в Россию за последние 5 лет увеличился на порядок. Как извес-
тно, система электропитания любого спутникового оборудования должна быть
адаптирована к высокой тактовой частоте работы и быстрому изменению нагруз-
ки на шине питания. Показано, что для этого требуется, чтобы эти DC/DC пре-
образователи и стабилизаторы обладали переходными характеристиками на уровне
не ниже десяти ампер на микросекунду при изменении нагрузки в полном диапа-
зоне, при этом максимальное отклонение величины выходного напряжения не
должно превышать ±5%, ибо любое превышение предельно допустимого напря-
жения питания процессора или ПЛИС при таком изменении нагрузки может при-
вести к мгновенному (или скрытому) отказу микросхемы бортовой РЭА.
Здесь же представлены основные результаты обобщения мирового опыта орга-
низации работ по созданию электронных компонентов для бортовой аппаратуры
космических аппаратов, поскольку специфика ЭКБ КН заключается в том, что ее
развитие идет своим путем, отличным от развития электроники общепромыш-
ленной, ориентированной на выпуск массовой продукции с коротким жизнен-
ным циклом и быстрой сменяемостью типов изделий.
Представлены особенности организации работ по развитию ЭКБ КН в США,
где этим занимаются параллельно три ведомства – министерства обороны и энер-
гетики, НАСА, а также в Европе, Японии и Китае.
В пятой главе рассмотрены основные направления решения одной из наибо-
лее актуальных проблем космической микроэлектроники – снижение энергопот-
ребления микроэлектронных устройств космического назначения. Актуальность
проблемы обусловлена тем очевидным фактом, что функциональные возможно-
сти и производительность бортовой РЭА неуклонно увеличиваются, а закон со-
хранения энергии никто еще не отменил. Если за каждый килограмм (тонну) по-
лезной нагрузки конструкторам ракетно-комической техники приходится пла-
тить сокращением «избыточных» функций, то для обеспечения минимизации
энергопотребления электронных блоков приходится использовать самые различ-
ные методы и способы, основанные на использовании как особенностей собствен-
но микроэлектронных технологий изготовления ЭКБ, так и целого спектра ори-
гинальных конструктивно-схемотехнических методов. Пятая глава как раз и по-
священа описанию основных из этих методов.
В начале главы рассмотрены основные механизмы рассеивания мощности в
наиболее широко используемых в КА КМОП-микросхемах, физические, схемотех-
нические, технологические и системотехнические (архитектурные) ограничения,
которые надо знать и учитывать разработчиками и потребителям микросхем кос-
мического применения. Особое внимание в этой главе уделено интерфейсным мик-
росхемам, которые позволяют обеспечивать совместное функционирование в со-
ставе бортовой системы самых различных функциональных блоков, узлов и эле-
ментов систем как единичного целого, организовать взаимодействие различных
электронных бортовых систем КА между собой, обеспечить быстрый и надежный
информационный обмен как между этими «внутренними» системами, так и с «вне-
шними» устройствами. Без так называемого «развитого интерфейса» невозможна
эффективная эксплуатация самых современных вычислительных и управляющих
бортовых систем КА. Важнейшими элементами интерфейса являются специаль-
ные микросхемы, используемые для построения интерфейсных каналов, которые
имеют множество разновидностей, отличающихся функциональными возможнос-
тями, схемотехническими и конструктивно-технологическими решениями, систе-
мой электрических параметров и особенностями применения. Единственное, что
их объединяет, – проблема минимизации их энергопотребления при работе в со-
ставе бортовых систем РЭА КН, а также условия работы (высокий уровень вне-
шних помех, высокие значения переключаемых (коммутируемых) и нагрузочных
токов, экстремальные электрические нагрузки, работа в условиях радиационных и
механических воздействий. Особенности проектирования и применения интерфей-
сных микросхем предыдущего поколения достаточно подробно были изложены в
работе А.И. Белоуса, О.Е. Блинкова «Биполярные микросхемы для интерфейсов
систем автоматического управления (Ленинград, «Машиностроение», 1990 г., 272 с.),
на которую в главе даются соответствующие ссылки.
Однако новому поколению интерфейсных микросхем присущи и новые про-
блемы, и новые методы их разрешения, поэтому здесь основное внимание чита-
телей сконцентрировано на особенностях организации режимов понижения энер-
гопотребления в современных интерфейсных микросхемах преимущественно с
последовательной (а не параллельной) передачей данных. Рассмотрены наиболее
часто используемые разработчиками бортовой РЭА микросхемы приемо-передат-
чиков пониженного энергопотребления типа RS-232 и RS-485, приведены конст-
руктивно-схемотехнические особенности их проектирования, дан развернутый
пример проектирования конкретной схемы электрического блока передатчика,
источника температуронезависимого опорного напряжения и др.
Основные конструктивно-схемотехнические особенности проектирования
ИМС КН с пониженным напряжением питания детально рассмотрены в рамках
отдельного параграфа.
Учитывая широкое использование в интерфейсных (и не только) микросхе-
мах элементов памяти (Embedded memory – встроенная память), последний па-
раграф этой главы посвящен детальному анализу схемотехнических особеннос-
тей организации и применения наиболее часто используемых типов базовых эле-
ментов (ячеек) памяти – различного вида триггеров D-типа.
Учитывая повышенный уровень различного рода помех, генерируемых на борту
эксплуатируемого космического аппарата (орбитальной станции, навигационного
спутника, межпланетного космического аппарата), в эту главу включен специ-
альный параграф, посвященный детальному анализу как самих источников воз-
никающих помех, так и конструктивно-схемотехническим методам их подавле-
ния на ранних этапах – проектирования как собственных заказных микросхем,
так и на этапах их последующего применения в составе бортовой РЭА КН.
Шестая глава посвящена особенностям технологического процесса изготов-
ления и базовым конструкциям современных транзисторов и диодов Шоттки,
предназначенных для использования при проектировании и изготовлении мик-
росхем и полупроводниковых приборов космической микроэлектроники.
Эта глава необходима для понимания современных тенденций и перспектив
развития современной микроэлектроники, которая развивается в направлении
так называемого «глубокого субмикрона». На первый план здесь выходит пробле-
ма масштабирования геометрических размеров интегральных микросхем – умень-
шение линейных (горизонтальных) и вертикальных (параметров активной струк-
туры базового транзистора) размеров вызвала к жизни совершенно новые, ранее
неизвестные физические механизмы отказов этого нового поколения микроэлек-
тронных изделий.
Поэтому здесь детально рассмотрены особенности технологий изготовления и
формируемые этими технологиями конструкции субмикронных МОП-транзисто-
ров. Представлен общий анализ этих конструкций, дано описание наиболее часто
используемых в практической деятельности инженеров-разработчиков БИС мето-
дов улучшения рабочих характеристик МОП-транзисторов для проектных норм 90,
65, 45 нм и менее, отдельно рассмотрены особенности, достоинства и основные
недостатки МОП-транзисторов со структурой «кремний на изоляторе» (КНИ), осо-
бенности транзисторов с двойным, тройным, и так называемым «цилиндрическим
затвором», а также другие используемые в БИС КН типы транзисторных структур.
В рамках отдельного параграфа рассмотрены особенности использования в составе
БИС КН специальных конструкций транзисторов для аналоговых применений.
Также отдельный параграф главы посвящен конструктивно-технологическим
особенностям изготовления и использования в составе микроэлектронных уст-
ройств высокотемпературных диодов Шоттки – представлены более пятидесяти
вариантов их конструкций с соответствующими комментариями в зависимости
от решаемых ими задач в составе конкретных микросхем и дискретных полупро-
водниковых приборов космического назначения.
Седьмая глава посвящена теоретическому и экспериментальному анализу осо-
бенностей воздействия ионизирующих излучений космического пространства на
субмикронные интегральные микросхемы и дискретные полупроводниковые при-
боры. Если физические механизмы воздействия радиации на «досубмикронные»
микросхемы были достаточно хорошо изучены и представлены в многочисленных
открытых отечественных и зарубежных изданиях, то при использовании субмик-
ронных проектных норм образовался определенный «информационный вакуум» –
в различных литературных источниках часто публиковалась прямо противополож-
ная информация, вплоть до того что субмикронные микросхемы вообще нельзя
использовать в космической аппаратуре из-за якобы их низкой стойкости к иони-
зирующим излучениям открытого космического пространства.
Во многом это объясняется жесткой конкурентной борьбой на рынке изгото-
вителей БИС КН, а также чисто экономическими факторами – разработка суб-
микронной технологии требует вложения уже не сотен тысяч долларов, а сотен
миллионов для уровня 90 нм и достигает нескольких миллиардов долларов для
уровня 45 нм и менее.
К сожалению, на основании подобной дезинформации были приняты и оп-
ределенные решения лидерами отечественной ракетно-технической отрасли, от-
ветственными за принятие решений в области использования ЭКБ для косми-
ческого аппаратостроения.
Поэтому в данной главе детально рассмотрены конкретные особенности и
физические механизмы воздействия радиации на субмикронные БИС (КМОП,
биполярные, цифровые, аналоговые, схемы памяти), а также представлены основ-
ные методы обеспечения их радиационной стойкости, включая рекомендации по
составу тестовых приборов, элементов для экспериментальных исследований вли-
яния радиационных воздействий на характеристики кремниевых микросхем, ре-
комендации по используемому оборудованию и методикам облучения образцов,
методикам их измерений после радиационной обработки.
Достоинством материалов этой главы является то, что в отличие от различного
рода утверждений о «стойкости» или «нестойкости» базовых конструкций субмик-
ронной БИС в десяти параграфах главы представлены конкретные результаты экс-
периментальных исследований (преимущественно отечественных, в том числе ав-
торских, а также авторитетных зарубежных исследователей) о воздействии разного
рода излучений на характеристики различных микроэлектронных приборов.
Так, представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований
воздействия гамма-излучения на параметры субмикронных МОП-транзисторов,
МОП-конденсаторов, ячеек памяти на МОП-транзисторах, логических МОП
ИМС, КМОП ОЗУ, ПЗУ, БиКМОП БИС, МОП/КНИ структур и БИС ОЗУ на их
основе.
Принимая во внимание объективные технические и финансовые проблемы
разработчиков РЭА КН в отношении возможности проведения натурных испы-
таний (полигон в Семипалатинске во времена СССР эти проблемы закрывал), в
последнем параграфе этой главы приводятся описания особенностей примене-
ния и физические обоснования целесообразности применения адекватных ими-
тационных методов исследований радиационных эффектов и методов прогнози-
рования на их основе радиационной стойкости КМОП и БиКМОП-микросхем.
Здесь же представлены конкретные и только апробированные в отечествен-
ной и зарубежной практике методы повышения устойчивости различных классов
БИС к воздействию факторов проникающей радиации (гамма, альфа, бета излу-
чениям, тяжелым заряженным частицам, протонам, нейтронам и другим видам
ионизирующих излучений). Детально описаны методики облучения, методики
измерений электрических параметров тестовых структур и образцов типовых пред-
ставителей основных классов ИМС, состав и особенности используемого при этом
оборудования, технической оснастки и специальных программных обеспечений.
Следующая, восьмая глава целиком посвящена описанию апробированных рас-
четно-экспериментальных методов прогнозирования и расчета уровней радиаци-
онной стойкости как Ð
eng


