В книге изложены современные принципы построения, методы расчета и проекти-
рования микросистемных датчиков физических величин и измерительных систем
на их основе. Приведены примеры разработок новых изделий.
Направления «Электроника и наноэлектроника», «Радиотехника», «Инфокомму-
никационные технологии и системы связи», «Информатика и вычислительная
техника», «Конструирование и технология электронных средств» предназначены
для студентов.
Также книга может быть полезной студентам смежных специальностей, аспиран-
там, инженерам и научным работникам, связанным с созданием первичных прибо-
ров информации на интегральных принципах.
Рис.: 313. Табл.: 42. Библиогр.: 110 назв.