Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных
размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся
порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких
элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается
нанотехнология.
В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.
Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.