С развитием высоких технологий производства электронных устройств становится
реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе микрон-
ных и субмикронных монолитных схем.
На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и квазиобъемных
(квази-3D) подложках рассмотрены основные принципы и характеристики техноло-
гий плоской печати. Сделав вывод о невозможности изготавливать по этим техноло-
гиям объемные структуры сложной формы в непрерывном технологическом цикле,
проанализированы возможности современных аддитивных технологий для произ-
водства ТЭУ. Классификация данных технологий по физическому принципу воздей-
ствия на конструкционный материал и выявление их общих недостатков показали,
что использование традиционных аддитивных технологий, как и традиционных 2D
технологий печати, не позволяет формировать многослойные сложные 3D объекты.
Решением данной задачи являются еще только разрабатываемые гибридные техно-
логии, названные в данной работе «4D технологиями формирования ТЭУ», т.к.
только они позволят формировать «монолитные» детали, выращиваемые внутри
свободного объема или на любой поверхности функциональных многослойных
структур или конструкций. Первым шагом к созданию 4D технологий формирования
ТЭУ является внедрение 3D MID-технологий. Проведен сравнительный анализ
возможностей различных 3D MID-технологий формирования ТЭУ, выявлены
недостатки данных технологий и приведены примеры их реализации в промышлен-
ности.
В тоже время, исходя из возможностей современных технологий, создана класси-
фикация 4D объектов ТЭУ. Представлены перспективы развития технологий для
создания 4D объектов ТЭУ.
Данное учебное пособие является первой книгой по технологиям изготовления,
сканирования и визуализации трехмерных электронных устройств. Во второй книге
будут рассмотрены технологии сканирования трехмерных электронных устройств
различных диапазонов, в т.ч. и нанометрового диапазона. Отдельный раздел второй
книги будет посвящён возможностям изготовления трёхмерных электронных
устройств нанометрового диапазона, применяя методы сканирующей микроскопии.
Третья книга будет посвящена технологиям визуализации (средствам отображения
информации) для контроля параметров ТЭУ, создания новых ТЭУ и технологий
реинжиниринга ТЭУ.
Учебное пособие может быть рекомендовано бакалаврам и магистрам высших
учебных заведений.

sitemap

Разработка: студия Green Art