Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А.
Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

Москва «Техносфера», 2007
ISBN 978-5-94836-134-5
Объем 176cтр. +4стр. цв. вклейка, пер. 7БЦ, формат 60х90/16.
Ст.-22 шт.

В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание: магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазмохимического травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.

Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники, и оборудования для их производства.

Оглавление:
загрузить в формате .pdf